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193nm深紫外偏振元件

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193nm深紫外偏振元件

193nm格蘭·泰勒偏振器

193nm格蘭-泰勒偏振器采用由空氣間隙隔開(kāi)的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準(zhǔn)分子激光光刻和深紫外激光加工等應(yīng)用中高精度偏振控制的理想選擇。特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度深紫外透射

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193nm格蘭激光偏振器

193nm格蘭激光棱鏡采用高光學(xué)均勻性的EUV晶體，在窄帶內(nèi)具有優(yōu)異的偏振穩(wěn)定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測(cè)。特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度裝有逃生窗適合高功率應(yīng)用

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洛匈棱鏡-193nm

洛匈棱鏡類(lèi)似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過(guò)，而尋常光線則以一定偏角透過(guò)。特征：光路無(wú)膠高極化純度適用于中低功率應(yīng)用

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193nm少級(jí)波片

193nm少級(jí)波片是深紫外波段偏振器件，可精確調(diào)控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統(tǒng)，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩(wěn)定性與精度。特征：厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值高延遲均勻性

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193nm空氣隙零級(jí)波片

193nm空氣隙零級(jí)波片，無(wú)粘合層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強(qiáng)，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕，適合連續(xù)高功率激光工作，偏振控制穩(wěn)定。特征：空氣隙厚度0.3~1.5mm高損傷閾值A(chǔ)R鍍膜并安裝

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真空紫外193nm系列

VUV激光定制偏振片系列工作波長(zhǎng)為193.368nm，覆蓋160-250nm波長(zhǎng)范圍。該系列產(chǎn)品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產(chǎn)品適用于各種激光應(yīng)用場(chǎng)景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領(lǐng)域提供專(zhuān)業(yè)的偏振解決方案。無(wú)論是科研還是工業(yè)應(yīng)用，都能滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)光學(xué)元件的嚴(yán)苛要求。有需求的客戶(hù)歡迎聯(lián)系我們。

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