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193nm格蘭泰勒棱鏡

主頁 193nm深紫外偏振元件

193nm格蘭泰勒棱鏡

深紫外透過
193nm格蘭泰勒棱鏡

193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料,通過空氣隙結(jié)構(gòu)分離兩棱鏡,有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問題,在 193nm 波長下實現(xiàn)高透射率,同時保持優(yōu)異的消光性能,其結(jié)構(gòu)設計具備高激光損傷閾值,適用于 ArF 準分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應用場景。

 

特征:

空氣間隙

接近布魯斯特角切割

高偏振極化

深紫外透過

 

  • 貨號 :

    GTP-193
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地 :

    FuZhou
新產(chǎn)品

規(guī)格:

材料: 極紫晶體
波長范圍: 193.368nm
消光比: <1x10-4
平行度: <1′
光潔度: 20/10
光束背離: < 3′
波前畸變: 1/4@632.8nm
損傷閾值: >200 MW/cm2

 

193nm格蘭泰勒棱鏡:

型號 波長范圍nm) 消光比 視場角(°) 通光孔徑(mm) 直徑(mm) 長度(mm)
GTP4006 193.368 <5x10-6 >6.0 5.0 25.4 13.0
GTP4008 6.5 25.4 14.0
GTP4010 8.0 25.4 16.0
GTP4013 10.0 25.4 20.0
GTP4015 12.0 30.0 23.0
GTP4020 18.0 38.1 28.0
GTP4025 22.0 50.8 33.0

 

193nm格蘭泰勒棱鏡的技術(shù)優(yōu)勢

193nm格蘭泰勒棱鏡核心優(yōu)勢在于采用深紫外適配材料,這類材料在193nm波段吸收極低,透過率優(yōu)異,能精準維持偏振方向,空氣隙結(jié)構(gòu)避免膠合材料在深紫外的吸收干擾,配合專用增透膜,減少深紫外光反射損耗,適配高功率深紫外激光場景。

 

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