193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料,通過空氣隙結(jié)構(gòu)分離兩棱鏡,有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問題,在 193nm 波長下實現(xiàn)高透射率,同時保持優(yōu)異的消光性能,其結(jié)構(gòu)設計具備高激光損傷閾值,適用于 ArF 準分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應用場景。
特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 深紫外透過 |
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貨號 :
GTP-193產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格:
材料: | 極紫晶體 |
波長范圍: | 193.368nm |
消光比: | <1x10-4 |
平行度: | <1′ |
光潔度: | 20/10 |
光束背離: | < 3′ |
波前畸變: | 1/4@632.8nm |
損傷閾值: | >200 MW/cm2 |
193nm格蘭泰勒棱鏡:
型號 | 波長范圍nm) | 消光比 | 視場角(°) | 通光孔徑(mm) | 直徑(mm) | 長度(mm) |
GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
193nm格蘭泰勒棱鏡的技術(shù)優(yōu)勢:
193nm格蘭泰勒棱鏡核心優(yōu)勢在于采用深紫外適配材料,這類材料在193nm波段吸收極低,透過率優(yōu)異,能精準維持偏振方向,空氣隙結(jié)構(gòu)避免膠合材料在深紫外的吸收干擾,配合專用增透膜,減少深紫外光反射損耗,適配高功率深紫外激光場景。