193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料，通過(guò)空氣隙結(jié)構(gòu)分離兩棱鏡，有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題，在 193nm 波長(zhǎng)下實(shí)現(xiàn)高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具備高激光損傷閾值，適用于 ArF 準(zhǔn)分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應(yīng)用場(chǎng)景。
特征:
空氣間隙
接近布魯斯特角切割
高偏振極化
深紫外透過(guò)
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