193nm格蘭激光棱鏡 采用高光學(xué)均勻性的EUV晶體，在窄帶內(nèi)具有優(yōu)異的偏振穩(wěn)定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測(cè)。
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特征： 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 裝有逃生窗 適合高功率應(yīng)用 |
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貨號(hào) :
GLP-193產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格：
| 材料： | EUV晶體 |
| 波長(zhǎng)范圍： | 193.368納米 |
| 消光比： | <1x10-4 |
| 并行性： | <1 弧分 |
| 表面質(zhì)量： | 20/10 |
| 光束偏差： | < 3弧分 |
| 波前失真： | λ/4@632.8nm |
| 損傷閾值： | >500 兆瓦/厘米2 |
193nm格蘭激光偏振器
| 零件編號(hào) | 波長(zhǎng)范圍(nm) | 消光比 | 視場(chǎng)角(°) | CA fa(毫米) | 外徑(毫米) | 長(zhǎng)度±0.1(毫米) |
| GLP4006 | 193.368 | <1x10-4 | >6.0 | 6.0 | 15.0 | 29.0 |
| GLP4008 | 8.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4010 | 10.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4015 | 15.0 | 30.0 | 38.6 | |||
| GLP4020 | 20.0 | 38.0 | 48.9 |
技術(shù)優(yōu)勢(shì) 193nm格蘭激光偏振器：
193nm 格蘭激光偏振片的技術(shù)優(yōu)勢(shì)包括高偏振純度，即使在廣角入射下也能保持穩(wěn)定的性能。它們具有出色的熱穩(wěn)定性，在寬溫度范圍內(nèi)光學(xué)波動(dòng)極小。憑借強(qiáng)大的抗激光損傷能力，它們適用于高功率深紫外應(yīng)用。它們與深紫外光學(xué)系統(tǒng)兼容且易于安裝，可完美滿足光刻和激光檢測(cè)等高精度應(yīng)用需求。
193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開(kāi)的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準(zhǔn)分子激光光刻和深紫外激光加工等應(yīng)用中高精度偏振控制的理想選擇。 特征： 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 深紫外透射
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193nm格蘭激光棱鏡 采用高光學(xué)均勻性的EUV晶體，在窄帶內(nèi)具有優(yōu)異的偏振穩(wěn)定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測(cè)。 特征： 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 裝有逃生窗 適合高功率應(yīng)用
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洛匈棱鏡 類(lèi)似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過(guò)，而尋常光線則以一定偏角透過(guò)。 特征： 光路無(wú)膠 高極化純度 適用于中低功率應(yīng)用
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193nm少級(jí)波片是深紫外波段偏振器件，可精確調(diào)控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統(tǒng)，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩(wěn)定性與精度。 特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性
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193nm空氣隙零級(jí)波片，無(wú)粘合層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強(qiáng)，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕，適合連續(xù)高功率激光工作，偏振控制穩(wěn)定。 特征：空氣隙厚度0.3~1.5mm高損傷閾值A(chǔ)R鍍膜并安裝
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VUV激光定制偏振片系列工作波長(zhǎng)為193.368nm，覆蓋160-250nm波長(zhǎng)范圍。該系列產(chǎn)品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產(chǎn)品適用于各種激光應(yīng)用場(chǎng)景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領(lǐng)域提供專(zhuān)業(yè)的偏振解決方案。無(wú)論是科研還是工業(yè)應(yīng)用，都能滿足客戶對(duì)光學(xué)元件的嚴(yán)苛要求。有需求的客戶歡迎聯(lián)系我們。
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